安川Yaskawa MOTOMAN 机型故障案例大全 浏览安川Yaskawa MOTOMAN所有机型的故障案例, 包含故障现象和维修方案。 故障案例列表 安川SEMI-STAR晶圆机械手电气与气路故障修复（编码器/制动器/真空/密封） 主控故障 伺服电机编码器通信异常/原点漂移/断电后绝对值原点丢失、驱动器过流过载、驱动板温度异常、轴制动器打滑；末端执行器真空吸附力下降、破真空慢；气动阀岛/旋转接头气密... 安川SEMISTAR-MR124晶圆搬运机械手常见故障排查 关节故障 洁净室晶片搬运机械手臂部抖动/定位不稳/金属摩擦异响、减速机磨损导致回程间隙超差、晶圆取放位置偏移有划片/Drop风险、内部同步带疲劳老化开裂掉粉污染洁净度