安川SEMI-STAR晶圆机械手电气与气路故障修复（编码器/制动器/真空/密封）

案例信息

品牌

安川Yaskawa MOTOMAN

机型

SEMISTAR-MR124

故障分类

主控故障

故障现象

伺服电机编码器通信异常/原点漂移/断电后绝对值原点丢失、驱动器过流过载、驱动板温度异常、轴制动器打滑；末端执行器真空吸附力下降、破真空慢；气动阀岛/旋转接头气密...

案例质量

铜牌案例 实战验证次数: 0