安川SEMISTAR-MR124晶圆搬运机械手常见故障排查

人形机器人

案例信息

品牌: 安川Yaskawa MOTOMAN
机型: SEMISTAR-MR124
故障分类: 关节故障

故障现象

洁净室晶片搬运机械手臂部抖动/定位不稳/金属摩擦异响、减速机磨损导致回程间隙超差、晶圆取放位置偏移有划片/Drop风险、内部同步带疲劳老化开裂掉粉污染洁净度

案例质量

铜牌案例实战验证次数: 0

维修方案

涉及配件